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德国海德汉HEIDENHAIN绝对式直线光栅尺 海德汉LIC 4100 V系列是一款专为高真空环境设计的绝对式直线光栅尺，可在需要真空条件的高科技领域中提供精确的直线位置测量反馈 。该系列光栅尺采用无接触光学测量原理，能够在设备开机瞬间输出准确的位置，特别适合半导体制造、电子器件生产、薄膜工艺、材料研究、生物技术和医疗设备等要求严苛真空环境的场合 。
更新日期：2025-09-02
型号：LIC 4100 V系列
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